擴(kuò)展折射率指數(shù)測(cè)量極限

我們的反射儀的特點(diǎn)是通過(guò)樣品的高度和傾斜調(diào)整進(jìn)行準(zhǔn)確的單光束反射率測(cè)量，光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對(duì)n和k進(jìn)行重復(fù)測(cè)量，對(duì)粗糙表面進(jìn)行測(cè)量以及對(duì)非常薄的薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量。

紫外-近紅外光譜范圍

RM 1000 430?nm?–?930?nm

RM 2000 200?nm?–?930?nm

高分辨率自動(dòng)掃描

反射儀RM 1000和RM 2000可以選配x-y自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測(cè)量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計(jì)算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見(jiàn)光- 近紅外光譜范圍內(nèi)，可以分析5nm～50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。

RM 1000和RM 2000代表SENTECH反射儀。臺(tái)式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺(tái)、光譜光度計(jì)和電源。它可以選配x-y自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外，我們的反射儀還可以測(cè)量薄膜(例如，AlGaN on GaN，SiGe on Si)、防反射涂層(例如，紋理硅太陽(yáng)能電池上的防反射涂層、紫外敏感GaN器件上的防反射涂層)，以及小型醫(yī)用支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。